全氟橡胶密封圈（DUPRA）
什么是DUPRA？
DUPRA是大金集团的DAIKIN FINETECH 公司提供的全氟弹性体材料(FFKM)。
全氟弹性橡胶与聚四氟乙烯(PTFE)一样，
具有耐热性、耐化学品性、不粘着性、耐气候性等众多优良的性能。
全氟弹性橡胶的聚合物结构由碳和氟(C-F)构成，
比一般的有机化合物的碳和氢(C-H)结构具有更高的聚合能，且很稳定。
因此对于来自外部的众多能量冲击都表现出很高的承受性能。
※所谓弹性体，是指聚合物通过化学反应产生交联，具有在较弱的外力下变形，去除外力后可快速恢复到接近原来的形状尺寸性能的高分子材料
DUPRA的洁净理念
在半导体制造前道工序设备生产工艺中，混入的金属污染物会使设备的电气特性劣化，给产品的成品率带来很大的影响。
DUPRA，从原料生产到混炼、成型、检查、包装全部在无尘室进行的“洁净理念”，构建生产工艺。同时，设定了有关产品金属含量的公司内部基准，在严格的质量管理标准下进行生产。我们为您提供追求无限洁净密封材料的 DUPRA。
DUPRA的产品系列
| 推荐流程 | 热工艺 氧化/扩散 | 等离子工艺 CVD/蚀刻/灰化 | 清洁工艺 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 产品品号 | DU351 | DU353 （E） | DU551 | DU3R1(E) | DU341 | DU354 | ||
| 特点 | 耐热性 | 超耐热性 | 超耐热性 | 等离子体承受性能 | 氟自由基 承受性能 | 耐化学品性 | ||
| 外观 |  |  |  |  |  |  | ||
| 颜色 | 黑 | 黑 | 黑 | 红 | 茶 | 黑 | ||
| 连续使用耐热温度（左右） | [℃] | 290 | 295 | 300 | 295 | 295 | 290 | |
| 耐热温度 | [℃] | 310 | 310 | 330 | 305 | 305 | 300 | |
| 硬度 | － | 74 | 77 | 75 | 74 | 72 | 75 | |
| 抗拉强度 | [兆帕] | 19.0 | 18.6 | 17.5 | 15.0 | 14.0 | 16.1 | |
| 断裂伸展率 | [％] | 200.0 | 205.0 | 170.0 | 260.0 | 250.0 | 205.0 | |
| 弹性率 | [兆帕] | 5.2 | 6.0 | 7.4 | 5.2 | 2.6 | 6.0 | |
压缩永久变形⑶ | 250°C 70小时后 | [％] | 10 | 8 | 8 | 12 | 10 | 32 |
| 300°C 70小时后 | [％] | 30 | 24 | 18 | 33 | 30 | － | |
| 追加选项 低粘等级型号 | － | 〇 | 〇 | － | － | － | ||
(1)依据JSK6253-1(2)依据 JSK 6251 哑铃状试验
(3)依据JISK6262 AS568-214 0-ring25%(室温时) 0-ring评价方法
※详细内容请参照产品特性的粘着性数据。
※数据来源：DAIKIN FINETECH,LTD.
DUPRA 各型号的特点
| 型号 | 特点 |
|---|---|
| DU353 | 适用于热处理工艺的标准型号， 在 FFKM 中，具有优良的耐热性、耐气体性。 |
| DU551 | 在 DU353的性能的基础上，又提高了耐热性，属于较高的耐热型号。 在 FFKM 中，具有优异的耐热性能。 |
| DU553 | 在保持 DU551性能的同时具有高强度的耐热材质。 在 FFKM 中，具有优异的耐热性，适用于活动部位。 |
| DU3R1 | 适用于等离子体处理工艺的标准型号。 在氧、氟等离子体环境中的重量变化小，起尘少。 |
| DU341 | 具有很高的氟系自由基耐受性，在等离子体处理工艺中， 体现优异的性能。 |
| DU354 | 适用于清洗处理工艺的型号。 对强酸、强碱等化学品具有优良的抗腐蚀性，金属溶出量极少。 |
DUPRA 按用途选择表
| 用途别型号推荐 | 工艺 密封材料应用环境 | 推荐品号 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 温度 | 气体种类 | ||||
| 热热处理工艺 |  | LPCVD Oxidation Diffusion Lamp Anneal ALD | 25~ 300°C | O₂, H₂O, H₂O₂, Oз NHз, SiH₄, N₂, HCI, NFз，CIFз，F₂，HF等 | DU551 DU553 DU353 |
| 等离子体处理工艺 |  | HDPCV DPECVD MetalCvD Etching Ashing | 25~ 250°C | CF₄, O₂, HBr, CI₂, NHз, SiH₄, H₂O,Vaper, TEOS, NFз, CIFз, F₂, HF, etc | DU341 DU3R1 DU551 DU553 |
| 清洗处理工艺 |  | Cleaning Etching Stripping | 25~ 180°C | SC-1, SC-2, Oз, HF, H₂SO₄, H₂OVaper,IPA, H₂O₂, NHз, Hydroxilamine etc | DU354 |