产品特性
DUPRA的特性
※数据来源：DAIKIN FINETECH,LTD.
※本公司记载的物理特性是代表值、不是保证值。
DUPRA的特点
DUPRA 在各种各样的醚橡胶中具有较高级别的耐热性、耐化学腐蚀性、耐油性等性能，作为 O 型圈、密封垫、缓冲材被使用在半导体制造设备、化学成套设备中。
在半导体制膜工序中，对于高品质成膜性和加工效率的要求在不断提高。因此，希望密封材料能够承受更高的高温，能够长期使用，并且不会对工序造成污染。
DUPRA 在将构成污染源的含有金属和析出气体减少到极限的同时，发挥着行业顶级的耐热性。基于以上特性，对于更加提高设备运转稳定性和减少密封件更换频率做出贡献。
耐热溶解性
DUPRA即使在325℃的高温环境，也能长时间维持其形状，重量减少量(产生气体量)比其他公司的热处理工艺型号少，体现其优异的耐热性能。在工艺过程中，即使长时间被置于高温下，也能降低因密封材溶解而导致的设备污染风险。
粘着性
橡胶弹性体在长时间的使用中，可能会发生与对象部件粘着的情况，
从而导致设备运转部的动作不良或阻碍阀门的压力控制。DUPRA，
开发了与旧款产品相比粘着力降低 50 ～ 70% 的低粘着等级，可以消除上述的不良情况，
缩短密封材料的更换时间。
随着半导体器件的集成度提高，在制膜、蚀刻工序中，有使用更强的等离子体的趋势。
因此对于密封件，要求其对气体、等离子体、自由基的耐受性高，
而且不易产生会导致半导体器件电气性能受损的微小颗粒。DUPRA 中用于等离子体处理工艺的型号，
对氧、氟等离子体具有很高的承受性能，起尘少（微小颗粒少），可以延长设备的维护周期。
洁净气体耐受性
为了去除半导体制造工序中在设备内产生的多余的膜和堆积物，会使用氟气体进行清洁。
近年来，洁净用气体的浓度变得更高，密封材料也被要求具有更高的耐受性。
DUPRA 对使用了氟系气体的清洁工艺具有很高的耐受性，可发挥稳定的密封性能。
臭氧、水蒸汽耐受性能
在制膜和灰化工序中，会使用臭氧气体、水蒸汽。
DUPRA 中用于热处理工艺的型号，对臭氧和水蒸汽也具有很高的耐受性，可以在各种各样的工艺中使用。
在半导体的清洗工艺中，会使用强酸、强碱对硅晶片进行清洗，
因此密封材料被要求对各种各样的化学品具有耐受性和低金属溶出性。
DUPRA 是一种耐化学品性高、金属溶出量极低的材料，可用于多种清洗工艺。
DUPRA和氟橡胶(FKM)的耐化学品性能比较表
从商谈到采用的流程
密封材的提案事例
可根据客户的要求，给出匹配的提案。
