大金清研先进科技(惠州)有限公司

大金清研先进科技(惠州)有限公司(DTAT)是由大金氟化工(中国)有限公司和深圳力合创业投资有限公司合资成立。

大金氟化工自2001年正式进驻中国后便深耕本土市场，并凭借集团公司近90年的氟领域研究经验，不断赋能中国半导体行业的本土化建设和高质量发展。大金清研先进科技(惠州)有限公司(DTAT)整合集团人才资源、产业资源以及智造经验，将以高度专业化的科研水平和制造实力，聚焦生产DUPRA全氟醚橡胶密封圈。

一、公司介绍
大金清研先进科技（惠州）有限公司、由大金氟化工（中国）有限公司和力合创投公司共同出资。秉持"快速响应，持续稳定，服务周到"的理念，提供高品质全氟橡胶密封的产品与服务。

本着客户为重的方针，认真研究客户需求，通过在国内设立生产工厂后，极大缩短了向国内客户的供货周期；公司还配备了先进的生产设备、生产车间环境按照半导体芯片加工厂同等洁净度打造（万级、千级、百级）、所有产品沿用了进口品同等质量标准。在确保产品品质的同时、还可依据客户需求进行订制化生产和及时的技术售后服务。

大金拥有完备的技术支持与售后服务；从原材料聚合物、配方开发到全氟橡胶密封圈O-ring成型生产的一站式解决方案，保障了产品的安全稳定供应。 大金化学集团在中国设有多个研发、实验机构，其中采用的高精密分析技术和设备，能够保障及时准确地解决客户的技术问题。通过与日本方面的紧密协作，对使用后的O-ring 进行详细的劣化分析，了解其在特定环境下的性能变化，并根据分析结果优化产品设计和生产工艺。提供符合客户生产工艺中所需的产品。

大金重视环境保护、遵循国家双碳减排目标以及联合国倡导的环保节能方针；工厂方面从初始设计开始便本着高度数字化、智能化的理念，实现全域智能高效互通，全系统化生产运营，大幅地减少过程浪费、通过节约能源以及提供高性能且稳定、耐受性优异、寿命更持久、配件更换频率减少的方式、为环境减负。

二、发展历程

2022年8月24日，大金清研先进科技（惠州）有限公司在惠州力合优科创新基地举行了开工仪式。

2023年12月5日，大金清研先进科技（惠州）有限公司（DTAT）于广东省惠州市宣布正式开业。DTAT是由大金氟化工(中国)有限公司和深圳力合创业投资有限公司合资成立。

三、企业资质

智慧工厂

DTAT成立的理念是打造安全稳定的生产、全球高品质（+洁净环境生产）、中国本土化、短交货期的工场。为追求更大的成长及发展、在合规遵守的基础上、打破传统模式而规划的新型工场。 工场从建设开始秉承「数字化高洁净工场」及「智能办公」的理念。

安全建设
完善安全管理体系，建立提供安全培训平台,时刻强化安全意识，创造安全

可靠的生产、工作环境；如：急救知识教育、防火防灾教育、急救知识教育等。

ISO体系

大金重视品质承诺、符合国际质量管理标准ISO认证。拥有与日本同标准质量管理团队，负责监督及确保所有的生产流程都严格遵循ISO标准。

完善的安全流程和操作规范，预防可能的事故或工伤。并结合数字工场的可视化管控系统、对洁净室内部的空气质量、温度湿度、光照度等都经过严格的管控。

四、主要产品

全氟橡胶密封圈（DUPRA）

DUPRA是大金集团的DAIKIN FINETECH 公司提供的全氟弹性体材料(FFKM)。

全氟弹性橡胶与聚四氟乙烯(PTFE)一样，具有耐热性、耐化学品性、不粘着性、耐气候性等众多优良的性能。全氟弹性橡胶的聚合物结构由碳和氟(C-F)构成，

比一般的有机化合物的碳和氢(C-H)结构具有更高的聚合能，因此对于来自外部的众多能量冲击都表现出很高的承受性能。

※所谓弹性体，是指通过在构成其的聚合物之间交联，具有在较弱的外力下变形，去除外力后可快速恢复到接近原来的形状尺寸性能的高分子材料

DUPRA的洁净理念

在半导体制造前道工序设备生产工艺中，混入的金属污染物会使设备的电气特性劣化，给产品的成品率带来很大的影响。

DUPRA，从原料生产到混炼、成型、检查、包装全部在无尘室进行的“洁净理念”，构建生产工艺。同时，设定了有关产品金属含量的公司内部基准，在严格的质量管理标准下进行生产。我们为您提供追求无限洁净密封材料的DUPRA。

DUPRA产品系列

DUPRA各型号的特点

DU353：适用于热处理工艺的标准型号。在 FFKM 中，具有优良的耐热性、耐气体性。

DU551：在 DU353的性能的基础上，又提高了耐热性，属于较高的耐热型号。在 FFKM 中，具有优异的耐热性能。

DU553：在保持DU551性能的同时、具有高强度的耐热材质。在FFKM中、具有优异的耐热性，适用于活动部位。

DU3R1: 适用于等离子体处理工艺的标准型号。在氧、氟等离子体环境中的重量变化小，起尘少。

DU341：具有很高的氟系自由基耐受性，在等离子体处理工艺中，体现优异的性能。

DU354：适用于清洗处理工艺的型号。对强酸、强碱等化学品具有优良的抗腐蚀性，且基本无金属析出。

五、DUPRA主要应用领域

满足半导体领域不同工序中对配件的耐用需求、密封需求和高洁净度需求。

耐热性：随着半导体制膜工序对高品质成膜性和加工效率要求的不断提高，高品质密封材料需要承受更高的温度，且能够适应长期使用。DUPRA在大幅减少构成污染源的金属、气体析出物的同时，耐热性能达到行业前列。

耐等离子体性：在半导体制膜、蚀刻工序中，使用更强的等离子体的趋势渐为显著，因而要求密封件具备高等离子耐受性。DUPRA 中用于等离子体处理工艺的型号，对氧、氟等离子体具有很高的承受性能，且不易产生会导致半导体器件电气性能受损的微小颗粒。

耐化学品性：在半导体的清洗工艺中，会使用强酸、强碱对硅晶片进行清洗，因此密封材料被要求对各种各样的化学品具有耐受性和低金属析出性。DUPRA 是一种耐化学品性高、金属析出量低的材料，可用于多种清洗工艺。

六、DUPRA技术支持

从商谈到采用的流程

密封材的提案事例